ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
73
Агеев Олег Алексеевич
Федотов Александр Александрович
Смирнов Владимир Александрович
МЕТОДЫ ФОРМИРОВАНИЯ СТРУКТУР
ЭЛЕМЕНТОВ НАНОЭЛЕКТРОНИКИ
И НАНОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ
Учебное пособие
Часть 1
Ответственный за выпуск
Смирнов В.А.
Редактор
Селезнева Н.И.
Корректор
ЛР №02565 от 23.06.1997г.
Подписано к печати
Печать офсетная.
Бумага офсетная.
Формат 60×84
16
1
.
Усл. п.л.
–
4,5.
Уч.
-
изд.л
–
4,3
Заказ №
Тираж
5
0 экз.
“С”
Издательство Технологического института
Южного федерального университета
ГСП 17А, Таганрог, 28, Некрасовский, 44
Типография Технологического института
Южного федерального университета
ГСП 17А, Таганрог, 28, Энгельса, 1
