Методы формирования структур элементов наноэлектроники и наносистемной техники - 69 стр.

UptoLike

69
nanometer-size water bridges / Jornal Of Applied Physics. 1999.
Vol. 86. – № 4. – P. 1898-1903.
62. Held R., Heinzel T., Studerus P., Ensslin K.
Nanolithography by local anodic oxidation of metal films using an
atomic force microscope / Physica. – 1998. – E2. – P. 748-752.
63. Ma Y.-R., Yu C., Yao Y.-D., Liou Y. and Lee Lee S.-F.
Tip-induced local anodic oxidation on the native SiO
2
layer of Si
(111) using an atomic force microscope / Physical Review B. – 2001.
– V. 64. – P. 1953XX-1-1953XX-6.
64. Крюков А.И., Кучмий С.Я. Основы фотохимии
координационных соединений – Киев: Наука, 1990. – 280 с.
65. Колобов Н.А., Самохвалов М.М. Диффузия и
окисление полупроводников М.: Издо Металлургия”,
1975. 455 с.
66. Общая химия: Учебное пособие для вузов / Под ред.
В.А. Рабиновича. – Л.: Химия, 1985. – 704 с.
67. Краткий справочник физико-химических величин /
Под ред. К.П. Мищенко, А.А. Равделя Л.: Химия, 1974.
200 с.
68. Маслов В.П., Данилов В.Г., Волосов К.А.
Математическое моделирование процессов
тепломассопереноса. М.: Наука, 1987. 346 с.
69. Сеченов Д.А., Светличный А.М., Агеев О.А.
Распределение температуры и механических напряжений в
области воздействия зонда сканирующего туннельного