ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
4
конструкции и электрические характеристики устройств
наноэлектронки. Во второй главе представлены результаты
анализа механизмов локального анодного окисления металла.
Показано, что на данный момент, несмотря на большое
количество экспериментальных исследований метода ЛАО,
механизм ЛАО точно не определен. Для выявления наиболее
вероятных реакций, протекающих при ЛАО пленки титана,
были рассмотрены термодинамические расчеты, в результате
которых показано, что наиболее вероятным является процесс
Ti+O
2
TiO
2
. Приведена оценка распределения температуры в
области воздействия зонда при ЛАО титана, в результате которой
было показано, что в локальной области, определяемой радиусом
закругления острия, под зондом АСМ температура подложки выше
температуры испарения воды, и поэтому можно сделать вывод, что
активные частицы окислителя поступают в зазор зонд-подложка из
газовой фазы атмосферы в технологической камере. Рассмотрена
математическая модель расчета условий и режимов
формирования наноструктур методом ЛАО на основе тонких
пленок металлов. Полученные результаты могут быть
использованы при разработке методик проведения
экспериментальных исследований режимов формирования
элементов наноэлектроники методом ЛАО (диоды, транзисторы,
логические элементы и т.д.).
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 2
- 3
- 4
- 5
- 6
- …
- следующая ›
- последняя »
