ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
23
селективного травления, а также шаблоны разной формы,
комбинируя которые можно формировать различного рода
электронные и механические элементы наноэлектроники. К таким
элементам относятся нанопроводники, полупроводниковые
наноструктуры с квантоворазмерными эффектами на основе
двумерного электронного газа, запоминающие устройства с
высокой плотностью записи информации, одноэлектронные
транзисторы, квантовые точки и т.д. [31-33].
В методе ЛАО зонд АСМ подводится к поверхности
проводящего образца. В условиях влажной окружающей среды
при приложении импульсов напряжения между зондом и
образцом происходит электрохимическая реакция, в результате
протекания которой на поверхности подложки происходит
формирование оксидных наноразмерных структур. Имеющийся
теоретический потенциал позволяет провести несколько
аналогий между локальным анодным окислением и
общепринятым анодным окислением в электролите. Зонд АСМ
используется как катод и образованный между зондом и
образцом водный мениск выступает в роли электролитической
ячейки. Строгая локальность линий электрического поля под
вершиной зонда в присутствии частиц кислорода дает
возможность для формирования ОНС.
Основным отличием зондовой нанолитографии методом
ЛАО от других методов модификации, основанных на
использовании СЗМ, является то, что процессы отображения
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 21
- 22
- 23
- 24
- 25
- …
- следующая ›
- последняя »
