Методы расчета диффузионных структур. Быкадорова Г.В - 18 стр.

                                                    18

      б) сл оевое сопроти вл ен и е при врем ен и ди ф ф у зи и 30 м и н у т с у четом
        ди ф ф у зи и н ару жу м едл ен н о ди ф ф у н ди ру ю щей при м еси бора;
      в) зави си м ость сл оевого сопроти вл ен и яот врем ен и ди ф ф у зи и в и н тервал е от
        10 м и н у т до 1 часа без у чета ди ф ф у зи и н ару жу м едл ен н о ди ф ф у н ди ру ю щей
        при м еси .
7. Рассчи тать сл оевое сопроти вл ен и е н а этапе разгон к и при м еси ф осф ора,
    распредел ен и е к оторой посл е загон к и аппрок си м и ру ется сл оем к он ечн ой
    тол щи н ы 1 м к м ск он цен траци ей 5⋅1019 см -3. Процессразгон к и проводи тсяпри
    тем перату ре 1100 оС в течен и е 2 часов, а загон к а проводи л ась в подл ожк у
    К ДБ3.
8. Проводи тсявн едрен и е м ышьяка с эн ерги ей 100 к эВ и дозой 200 м к К л /см 2 в
    к рем н и й р-ти па си сходн ой к он цен траци ей 5⋅1016 см -3.
         О предел и ть сл оевое сопроти вл ен и е посл е ди ф ф у зи он н ой разгон к и
    пол у чен н ого гау ссовск ого распредел ен и ям ышьяка при тем перату ре 1150 оС в
    течен и е 30 м и н у т (гран и цу счи тать отражаю щей ).
9. В       к рем н и й     м арк и    КЭ Ф 4       к он цен траци он н ый     проф и л ь     и он н о-
                                                                                  2
    и м пл ан ти рован н ого бора с эн ерги ей 80 к эВ и 50 м к К л /см опи сывается
    сопряжен н ым гау ссовым распредел ен и ем .
        Посл е ак ти ваци он н ого отжи га при тем перату ре 1050 оС в течен и е 45 м и н у т
    рассчи тать в при бл и жен и и                отражаю щей        гран и цы поверхн остн ое
    сопроти вл ен и е пол у чен н ого сл оя.
10. Проводи тсяди ф ф у зи ябора в л еги рован н ый м ышьяком эпи так си ал ьн ый сл ой с
    и сходн ой к он цен траци ей 1016 см -3. Ди ф ф у зи я прои сходи т по н орм ал ьн ом у
    зак он у и к оэф ф и ци ен т ди ф ф у зи и бора при тем перату ре ди ф ф у зи и равен
    10-12 см 2/с.
           О предел и ть врем я ди ф ф у зи и , н еобходи м ое дл я ф орм и рован и я p-n
    перехода н а гл у би н е 2⋅10-4 см и сопроти вл ен и ясл оя200 О м / .

                                                В опросы

1. Что так ое сл оевое сопроти вл ен и е?
2. Запи ши те м атем ати ческ у ю м одел ь, опи сываю щу ю процесс ди ф ф у зи и н а
  стади и разгон к и при м еси .
3. К ак определ и ть дозу л еги рован и ян а стади и загон к и при м еси ?

              4. О пр е де ле ние р е ж имо в диффузии по за да нны м па р а ме тр а м
                                       р а спр е де ле ния пр име си

      О предел ен и е режи м ов ди ф ф у зи и одн ого ти па при м еси отн оси тся к
обратн ым задачам . К ак прави л о, обратн ая задача по определ ен и ю врем ен и и
тем перату ры ди ф ф у зи и решается н а стади и разгон к и и з н еогран и чен н ого
и сточн и к а.
      Распредел ен и е при м еси н а стади и разгон к и прои сходи т всл едстви е
перераспредел ен и яатом ов при м еси дозы Q, пол у чен н ой н а стади и загон к и и з