Методы расчета ионно-имплантированных структур. Быкадорова Г.В - 21 стр.

                                                   21
                             Решение

  Исходная концентрация кремниевой подложки оценивается по удельному
сопротивлению ρ = 7.5 Ом⋅см:
                             1                     1
                 N исх =          =                                 = 6 ⋅ 1 0 1 4 с м −3 .
                           ρe µ n   7 .5 ⋅ 1.6 ⋅ 1 0 −1 9 ⋅ 1 4 0 0

  Находим параметры распределений для ионов фосфора в кремнии и окиси
кремния при энергии 100 кэВ:

               R p1 = 9.98 ⋅10 −6 см ; ∆R p1 = 3.31 ⋅10 −6 см ; ∆R p2 = 4.57 ⋅10 −6 см .


   Для расчета параметра G от дозы имплантации в диапазоне 0÷0.5 мкКл/см2 с
шагом hg = 0.025 мкКл/см2 составлена программа PR3. Решение системы
(2)÷(4) находится методом простых итераций с интегрированием по методу
Гаусса на восьмиточечном шаблоне.

  PROGRAM PR3( INPUT, OUTPUT ); {программа расчета параметра G}
  const k =1.38e-23; { постоянная Больцмана, Дж / K}
       q =1.6e-19; { заряд электрона, Кл }
       pi =3.1415926;
       eps0 =8.85e-14; { диэл. проницаемость вакуума, Ф/см}
       epssio2=3.9; { относ.диэл. прониц. SiO2}
       epssi=11.9; { относ.диэл. прониц. Si}
       ni=1.45e+10; { собств. концентрация носителей в Si, см-3 }
       t=300.0; { температура, К }
  var doza,G:array[0..20] of real;
       x1, k2, k3, ns,d,h,rp1,drp1,drp2,w,w1,n,n1,c1,u1,u2,u3:real;
       i:integer; f:text; o:char;
  function fn1(z:real):real;
  begin
   fn1:=exp(-(k2-z)*(k2-z)/(2*drp2*drp2))/(sqrt(2*pi)*drp2) end;
  function gauss8(a,b:real):real;{вычисление интеграла методом Гаусса}
  var xi,ai:array[1..8] of real;
      b1,b2,gs,x2:real; j:integer;
  begin
  ai[1]:=0.10122854;ai[2]:=0.22238103; ai[3]:=0.31370664; ai[4]:= 0.36268378;
  xi[5]:=0.18343364; xi[6]:=0.52553241; xi[7]:=0.79666648; xi[8]:=0.96028985;
   for j:=5 to 8 do begin
     xi[9-j]:=-xi[j]; ai[j]:=ai[9-j]; end;
   b1:=(b+a)/2; b2:=(b-a)/2; gs:=0.0;
   for j:=1 to 8 do begin x2:=b1+b2*xi[j]; gs:=gs+ai[j]*fn1(x2); end;
   gauss8:=gs*b2; end;