Методы расчета ионно-имплантированных структур. Быкадорова Г.В - 22 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

22
BEGIN
ns:=6e+14; d:=7.6e-6; h:=0.025; rp1:=9.98e-6;
drp1:=3.31e-6; drp2:=4.57e-6;
k2:=d+(rp1-d)*drp2/drp1; k3:=(4.0*eps0*epssi*k*t)/(q*q);
for i:=0 to 20 do begin
if i:=0 then begin doza[i]:=0.0; n:=ns end else begin
doza[i]:=h*i;
w1:=rp1;
n1:=6.25e+12*doza[i]*(fn1(d)+fn1(rp1))/2;
repeat
w:=w1; n:=n1;
w1:=sqrt(k3*abs(2.3*ln(n/ni))/n);
n1:=6.25e+12*doza[i]*gauss8(d, w+d)/w+ns;
until (abs(w1-w)/(w1+w)<0.001) and (abs(n1-n)/(n1+n)<0.001)
end;
c1:=eps0*epssio2/d;
u1:=(2.0*k*t*2.3*ln(n/ni))/q;
u2:=sqrt(2.0*q*q*n*eps0*epssi*abs(u1))/c1;
u3:=abs(u1+u2);
G[i]:=1/sqrt(1+2*eps0*epssio2*epssio2*u3/(q*n*epssi*d*d)) end;
writeln;
writeln(' доза,мкКл/см 2 G'); writeln;
for i:=0 to 20 do writeln(doza[i]:12:3,G[i]:17:2);
writeln;
END.
В результате расчета по программе PR3 получены следующие результаты.
Доза,
мкКл/см
2
параметр
G
Доза,
мкКл/см
2
параметр
G
0.000
0.025
0.050
0.075
0.100
0.125
0.150
0.175
0.200
0.225
0.14
0.22
0.32
0.40
0.48
0.55
0.60
0.65
0.70
0.73
0.250
0.275
0.300
0.325
0.350
0.375
0.400
0.425
0.450
0.475
0500
0.76
0.79
0.81
0.83
0.84
0.86
0.87
0.88
0.88
0.89
0.90 
                                        22
  BEGIN
  ns:=6e+14; d:=7.6e-6; h:=0.025; rp1:=9.98e-6;
  drp1:=3.31e-6; drp2:=4.57e-6;
  k2:=d+(rp1-d)*drp2/drp1; k3:=(4.0*eps0*epssi*k*t)/(q*q);
  for i:=0 to 20 do begin
   if i:=0 then begin doza[i]:=0.0; n:=ns end else begin
  doza[i]:=h*i;
  w1:=rp1;
  n1:=6.25e+12*doza[i]*(fn1(d)+fn1(rp1))/2;
  repeat
  w:=w1; n:=n1;
  w1:=sqrt(k3*abs(2.3*ln(n/ni))/n);
  n1:=6.25e+12*doza[i]*gauss8(d, w+d)/w+ns;
  until (abs(w1-w)/(w1+w)<0.001) and (abs(n1-n)/(n1+n)<0.001)
     end;
  c1:=eps0*epssio2/d;
  u1:=(2.0*k*t*2.3*ln(n/ni))/q;
  u2:=sqrt(2.0*q*q*n*eps0*epssi*abs(u1))/c1;
   u3:=abs(u1+u2);
   G[i]:=1/sqrt(1+2*eps0*epssio2*epssio2*u3/(q*n*epssi*d*d)) end;
  writeln;
  writeln(' доза,мкКл/см2        G'); writeln;
  for i:=0 to 20 do writeln(doza[i]:12:3,G[i]:17:2);
  writeln;
  END.

В результате расчета по программе PR3 получены следующие результаты.

           Доза,       параметр        Доза,         параметр
          мкКл/см2       G            мкКл/см2         G

            0.000       0.14           0.250          0.76
            0.025       0.22           0.275          0.79
            0.050       0.32           0.300          0.81
            0.075       0.40           0.325          0.83
            0.100       0.48           0.350          0.84
            0.125       0.55           0.375          0.86
            0.150       0.60           0.400          0.87
            0.175       0.65           0.425          0.88
            0.200       0.70           0.450          0.88
            0.225       0.73           0.475          0.89
                                       0500           0.90

Страницы