Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 149 стр.

создает проблему бокового подтравливания под маску, при этом
фактический размер протравленной области в слое под маской
существенно превышает заданный размером окна в маске; 2)
применение жидкостных методов сопровождается загрязнениями
поверхности продуктами реакций и сторонними примесями,
содержащимися в исходных реагентах и в воде, использованной для их
приготовления. Замена жидкостных методов на «сухие» -
плазмохимические и ионно-плазменные - позволяет существенно
улучшить анизотропию процесса травления, увеличить его разрешение
и дает в руки технолога мощный и гибкий инструмент, с помощью
которого можно получать структуры заданной конфигурации и нужных
размеров. Меняя состав плазмообразующего газа, параметры разряда
можно в широких пределах варьировать скорости целевых процессов,
их анизотропию и селективность в соответствии с требованиями,
предъявляемыми к размерам и характеристикам изделий.




а)                    б)                     в)




г)                      д)                     e)
Рис. 4.1.1. Типовые операции в производстве в производстве ИМС

     Анализ литературных данных последних лет, в основном
зарубежных, показывает, что развитие технологии плазменной
обработки материалов происходит по пути интенсификации и
повышения эффективности уже хорошо отработанных и изученных
процессов. В этом плане необходимо отметить, что «чистое»
плазмохимическое травление, обеспечиваемое только химическим
взаимодействием активных частиц плазмы с обрабатываемым
материалом, начиная со второй половины 90-х годов, используется
очень ограниченно. Подавляющее большинство технологических
процессов травления в плазме в настоящее время реализуется в виде
ионно-стимулированных и ионно-лучевых процессов, которые сочетают
химические и физические эффекты воздействия на обрабатываемый
                               149