Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 153 стр.

некоторые другие. Источником хлора в плазмохимических процессах
могут служить хлорсодержащие хладоны, ибо в условиях разряда
отщепление хлора происходит в первую очередь. Общие недостатки
хлоруглеродных соединений - высокая степень полимеризации в
условиях разряда, что вызывает загрязнение аппаратуры и
обрабатываемого изделия, замедление травления, быструю деградацию
масел вакуумных насосов. Введение кислорода не устраняет полностью
полимеризационные явления, но приводит к образованию ряда
токсичных продуктов, наиболее опасным из которых является фосген
COCl 2 . В настоящее время хлоруглеродные газы вытесняются Cl 2 и
BCl3 , однако применение чистого хлора сдерживается его высокой
токсичностью и химической активностью. Полезные возможности в
плане использования чистого хлора имеет его получение
непосредственно на плазмохимической установке путем термического
разложения хлорной меди по реакции CuCl 2 → 1 2 Cl 2 + CuCl .
Устойчивый поток хлора получают при температуре 350 – 400 0С.
Достоинства этого метода – низкие давления хлора и обратимость
химической реакции, что практически исключает превышение ПДК при
аварийной ситуации. Аналогичным образом можно получать и малые
количества газообразного брома.
      Прочие газы. При травлении органических соединений широкое
применение находит кислород, используемый также в качестве
компонента сложных смесей при травлении металлов и
полупроводников. Для очистки поверхности и мягкого травления ряда
полупроводников, в первую очередь соединений A3 B 5 , может быть
использован водород и смеси на его основе.
      На плазменное травление с помощью галогенсодержащих газов
благоприятное влияние оказывают различные газовые добавки, что
обуславливает широкое использование в качестве плазмообразующих
сред бинарных газовых смесей. Наряду с традиционными задаваемыми
параметрами процесса (давление газа, скорость потока газа,
вкладываемая мощность) регулирование состава газовой смеси является
гибким интрументом регулирования целевого результата обработки
материала. По своему функциональному назначению газы-добавки
могут быть разделены на три большие группы:
• Газы - стабилизаторы. Здесь наиболее часто используются
   благородные газы (Ar, He) и азот. Добавка этих газов стабилизирует
   и гомогенизирует разряд, устраняет эффекты стратификации и
   осцилляции плазмы в реакторе. В литературе отмечается, что
   механизм стабилизирующего действия может быть обусловлен
   тепловыми      свойствами     газа-добавки     или     изменением

                                153