Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 164 стр.

                4.5. Радикальное травление (РТ)

      Радикальное травление представляет собой химическую реакцию
взаимодействия атомов и радикалов, образующихся в условиях разряда,
с материалом подложки. При этом обрабатываемый материал находится
в зоне послесвечения, то есть отделен от плазмы перфорированным
металлическим цилиндром, газовым промежутком или другим
способом. В таких условиях практически исключено попадание на
поверхность электронов и ионов и значительно ослаблено воздействие
излучения плазмы. Доставка атомов или радикалов из зоны разряда к
обрабатываемой поверхности осуществляется с потоком газа или за счет
диффузии. Радикальному травлению подвергаются материалы, которые
образуют стабильные летучие соединения с активными частицами и не
требуют при этом активации реакции травления заряженными
частицами или физического распыления их поверхности.
      РТ может осуществляться в реакторах с перфорированным
цилиндром (рис. 4.5.1,а-г) или в реакторах с объемным разделением
плазменной и реакционной зон. Различие между реакторами внутри
каждого типа состоит в расположении элементов, способах загрузки
подложки, входа и выхода газа. В цилиндрических реакторах с
перфорированным цилиндром используется возбуждение плазмы
индукционным (рис. 4.5.1,а) и емкостным способами (рис. 4.5.1,б-г). В
обоих случаях разряд является безэлектродным. При этом применяется
ВЧ- (рис.4.5.1,а-б) или СВЧ- (рис. 4.5.1,г) генераторы. Различие между
туннельными реакторами состоит также в том, что перфорированный
цилиндр может быть заземлен (рис. 4.5.1,г), служить ВЧ-электродом
(рис. 4.5.1,б,в) или находиться под плавающим потенциалом
(рис.4.5.1,а).  Перфорированный       цилиндр      изготавливается  из
углеродистой стали, никеля или алюминия, имеет прозрачность не
менее 25% и диаметр отверстий более 3 мм (он должен быть больше
длины свободного пробега частиц, чтобы не препятствовать их
проникновению внутрь цилиндра). Наиболее широко применяются
цилиндрические реакторы с горизонтальным расположением оси, что
удобно для кассетной загрузки подложек. Имеются также установки с
вертикальным расположением оси реактора (рис.4.5.1,в), что
обеспечивает удобство вращения подложкодержателя. Цилиндрические
реакторы с перфорированным цилиндром широко используются в
промышленности, в то время как реакторы с разделением реакционной
и разрядной камер и кассетной загрузкой (рис. 4.5.1,д,з) не получили
широкого распространения. Опыт их использования показал, что
основной недостаток таких реакторов - большая неравномерность
травления по подложке и в партии вследствие неоднородности
                                 164