Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 202 стр.

2. Доставка ХАЧ к поверхности обрабатываемого материала с
   помощью диффузии и газового потока. Интенсифицировать эту
   стадию может только мощное лазерное излучение, сфокусированное
   в плоскости на малом (около 1 мм) расстоянии от поверхности
   обрабатываемого материала и ускоряющее процессы переноса за счет
   нагрева газовой среды.
3. Адсорбция газовых молекул и химически активных частиц на
   поверхности обрабатываемого материала. Поскольку адсорбция
   химически активных частиц протекает с выделением энергии, то,
   очевидно, радиационное воздействие не может интенсифицировать
   эту стадию. При воздействии излучения возможны процессы
   диссоциации адсорбированных молекул и радикалов и их десорбции.
   Вероятность осуществления процессов диссоциации и десорбции
   зависит от конкретного вида молекул, радикалов, радиационного
   воздействия и его параметров.
4. Образование продуктов реакции.
5. Рекомбинация химически активных частиц на поверхности
   материала.
6. Удаление с поверхности материала продуктов реакции и
   адсорбированных частиц. Продукты реакции могут удаляться с
   помощью как обычной, так и радиационно-стимулированной
   десорбции. При использовании в качестве радиационного
   воздействия ионов с энергией больше 50 эВ необходимо учитывать
   процесс удаления поверхностных атомов материала за счет
   физического распыления.
      Безусловно, рассмотренные стадии не охватывают всего
многообразия      явлений,    происходящих     при     радиационно-
стимулированном травлении материалов, но, на наш взгляд, наиболее
существенны и типичны.
      Фотонно-стимулированное травление и очистка материалов
связана с воздействием излучения: 1)на газовую фазу с генерацией
радикалов или возбуждением газовых молекул; 2)на адсорбированный
слой с генерацией в нем радикалов и стимуляцией процессов десорбции
и испарения; 3)на материал с возбуждением его электронов, решетки и
нагреванием локальных областей. Преобладание теплового механизма
травления материалов характерно для излучений в инфракрасной и
видимой областях спектра с плотностью мощности больше 109 Вт/см2.
Для излучения малой плотности мощности (менее 107 Вт/см2) в
ультрафиолетовой и рентгеновской областях спектра характерен
диффузионно-рекомбинационный механизм травления.
      Варианты конструкций систем фотонно - стимулированного
травления разнообразны. Излучение может быть направлено как
                               202