Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 213 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

213
Таблица 4.11.2
Операционные и выходные параметры процессов ионно-плазменного травления
Вид травления
ионное ионно-химическое плазмохимическое
Параметр
ИПТ ИЛТ РИПТ РИЛТ ПТ РТ
1 2 3 4 5 6 7
Давление газа, Па
1 - 10
a)
0.1 - 1
б)
10
-3
- 10
-2
1 - 5
а)
0.1 - 1
б)
10
-2
- 0.5
50 - 10
3 в)
10 - 10
2 г)
0.1 - 1
д)
50 - 10
3 е)
10 - 10
2 ж)
Расход газа (при
нормальном дав-
лении), см
3
/сек
20 - 50 1 - 10 20 - 50 1 - 20 50 - 100 50 - 100
Характерная ско-
рость травления,
нм/сек
0.1 - 1 0.3 - 3 1 - 5 0.3 - 3 2 - 10 1 - 3
Показатель анизо-
тропии травления
5 - 10 10 - 100 5 - 30 10 - 100
2 - 5
5 - 10
д)
2 - 5
Разрешающая спо-
собность, мкм (на
пленке материала
толщиной 1 мкм при
разрешении в маске
0.3 мкм)
0.5 - 0.7 0.3 - 0.5 0.4 - 0.6 0.3 - 0.5
0.7 - 1
0.5 - 0.7
д)
0.7 - 1
213 
                                                                                                            Таблица 4.11.2
                      Операционные и выходные параметры процессов ионно-плазменного травления
                                                                        Вид травления
           Параметр                        ионное                     ионно-химическое          плазмохимическое
                               ИПТ                   ИЛТ          РИПТ            РИЛТ           ПТ              РТ

               1                  2                    3              4             5             6               7
      Давление газа, Па               a)                                  а)                 50 - 103 в)      50 - 103 е)
                              1 - 10                              1-5
                                                10-3 - 10-2                     10-2 - 0.5   10 - 102 г)      10 - 102 ж)
                              0.1 - 1 б)                         0.1 - 1 б)
                                                                                             0.1 - 1 д)
      Расход газа (при
      нормальном дав-         20 - 50                1 - 10      20 - 50          1 - 20      50 - 100         50 - 100
      лении), см3/сек
      Характерная ско-
213




      рость травления,         0.1 - 1               0.3 - 3       1-5            0.3 - 3      2 - 10            1-3
      нм/сек
      Показатель анизо-                                                                         2-5
                               5 - 10               10 - 100      5 - 30         10 - 100                        2-5
      тропии травления                                                                        5 - 10 д)
      Разрешающая спо-
      собность, мкм (на
      пленке материала                                                                         0.7 - 1
                              0.5 - 0.7             0.3 - 0.5    0.4 - 0.6       0.3 - 0.5                      0.7 - 1
      толщиной 1 мкм при                                                                     0.5 - 0.7 д)
      разрешении в маске
      0.3 мкм)

                                                                213

Страницы