Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 253 стр.

     Еще одним перспективным методом определения абсолютных и
относительных концентраций частиц в условиях ННГП, основанным на
регистрации из лучения плазмы, явля ется метод относительных
интенсивностей или актинометрии. Суть его состоит в том, что
измеряется отношение интенсивностей излучения двух типов частиц,
причем концентрация одного из компонентов заведомо известна или
может быть легко определена независимым способом. В качестве
последнего обычно выступает инертный газ-актинометр, вводимый в
разряд в количестве 3 - 5%. Аналитические максимумы
(актинометрические пары) выбираются таким образом, чтобы
пороговые энергии и функции (сечения) возбуждения были как можно
более близки, а само возбуждение излучающих состояний происходило
прямым электронным ударом. При выполнении последнего условия
расчет концентрации атомов хлора, например, может быть проведен по
соотношениям:

             IX       f (λ X ) kexX n X
                   =ξ                       ,                     (6.12)
             I act    f (λact ) kexact nact

где I - интенсивности излучения, ξ - константа, зависящая от
конфигурации спектральной части экспериментальной установки
(аппаратный фактор),       f (λ )  - коэффициенты спектральной
чувствительности ФЭУ на длинах волн аналитических максимумов, а
индексы «Х» и «act» относятся к определяемой частице и газу-
актинометру, соответственно.
     Для оценки применимости соотношения (6.12) к каждой
конкретной системе предварительно необходимо провести анализ
возможных     механизмов      возбуждения        определяемых     частиц.
Проиллюстрируем подходы к такому анализу на примере плазмы Cl2,
где определяемыми частицами являются атомы хлора. В общем случае,
кроме прямого возбуждения атомов, следует рассматривать
возможность ступенчатого возбуждения при взаимодействии с
метастабильными частицами и/или диссоциативное возбуждение
электронным ударом: Cl2 + e → Cl2* → Cl * + Cl . Из анализа литературных
данных следует, что у молекул хлора нет метастабильного
возбужденного состояния, и, следовательно, процессы ступенчатого
возбуждения с участием такого сорта частиц можно не принимать во
внимание. Минимальная пороговая энергия диссоциативного
возбуждения может быть оценена как сумма пороговой энергии
возбуждения соответствующего излучающего состояния атома и энер
гии разрыва связи молекулы Cl2 (2.5 эВ). Для наиболее интенсивной
                                            253