Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 41 стр.

который совместно описывает диффузионное движение электронов и
положительных ионов в плазме электроположительных газов. Так как
b+ << be ( b+ + be ≈ be ) и выражая величины De и D+ через соотношение
Эйнштейна, уравнение для коэффициента амбиполярной диффузии
можно упростить:

                                      b+ (Te + T+ )
                                    k
                             Da =                               (1.81)
                                    e

или для неизотермической плазмы при Te >> T+ :

                                       k
                               Da =      b+Te .                 (1.82)
                                       e

Последнее выражение показывает, что коэффициент амбиполярной
диффузии значительно меньше коэффициента свободной диффузии
электронов (так как b+ << be ), но больше коэффициента свободной
диффузии положительных ионов (так как Te >> T+ ). Физически это оз-
начает, что поле объемного заряда оказывает тормозящее действие на
диффузионное движение электронов и ускоряющее – для положи-
тельных ионов.
      При β → ∞ и с учетом b+ ≈ b− и D+ ≈ D− получаем, что D → De ,
то есть эффективный коэффициент диффузии электронов переходит в
свободный коэффициент диффузии. При таких условиях среди заря-
женных частиц доминируют положительные и отрицательные ионы с
одинаковыми подвижностями. Поэтому не происходит пространст-
венного разделения зарядов, поле объемного заряда не возникает и
находящиеся в небольшом количестве электроны диффундируют сво-
бодно.
      Воспользовавшись условиями be >> b+ ≈ b− и De >> D+ ≈ D− , вы-
ражение (1.79) для эффективного коэффициента диффузии электро-
нов также может быть упрощено и приведено к виду

                             b+        1 + 2β
                    D = De                                      (1.83)
                             be 1 + (b+ be )(1 + 2β )

или



                                      41