Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 40 стр.

к сумме (1.71) и (1.72) получим выражение для поля объемного заря-
да:

                              D+ ∇n+ − D− ∇n− − De∇ne
                      Esc =                            .                 (1.74)
                                 b+ n+ + b− n− + b− n−

При достаточно высокой концентрации заряженных частиц выполня-
ется условие квазинейтральности, т.е. ne + n− = n+ . Введем понятие от-
носительной концентрации отрицательных ионов β = n− ne и перепи-
шем условие квазинейтральности в виде ne (1 + β ) = n+ . Также можно
записать, что
                           ∇n− + ∇ne = ∇n+ и                     (1.75)
                   ∇ n − = ∇ ( β n e ) = β ∇ n e + ne ∇ β .      (1.76)

Полагая, что параметр β не зависит от координат ( ∇β =0) и подстав-
ляя (1.75) и (1.76) в (1.74), получим

                             ∇ne D+ (1 + β ) − D− β − De
                    E sc =                               .               (1.77)
                              ne b+ (1 + β ) + b− β + b−

Комбинируя последнее выражение с уравнением плотности потока
электронов (1.71) можно показать, что

       Γe = −∇ne
                   (Deb+ + D+ be ) + β (Deb+ + Deb− + D+ be − D−be ) ,   (1.78)
                                 b+ (1 + β ) + b− β + be

где коэффициент пропорциональности между плотностью потока
электронов и их градиентом концентрации называется эффективным
коэффициентом диффузии электронов:

          D=
               (De b+ + D+ be ) + β (Deb+ + De b− + D+ be − D− be ) .    (1.79)
                              b+ (1 + β ) + b− β + be

      При отсутствии отрицательных ионов ( β = 0) выражение (1.79)
переходит в выражение для коэффициента амбиполярной (двуполяр-
ной) диффузии
                               Da =
                                      (Deb+ + D+ be ) ,                  (1.80)
                                         b+ + be


                                          40