Вакуумно-плазменные процессы и технологии. Ефремов А.М - 38 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

38
тельных ионов являются качественно аналогичными, различия за-
ключаются в знаке дрейфового слагаемого, определяемого различны-
ми направлениями движения этих частиц:
Eb
dx
dn
n
D
e
e
e
eXe
−−=
1
,
υ
, (1.63)
Eb
dx
dn
n
D
i
i
i
iXi
+−=
1
,
υ
. (1.64)
В условиях газового разряда часто встречается такой случай,
когда действие градиента концентрации и напряжённости поля вза-
имно компенсируются. Движение электронов при этом оказывается
беспорядочным, скорость направленного движения равна нулю:
0
1
=−− Eb
dx
dn
n
D
e
e
e
. (1.65)
Уравнение (1.65) позволяет установить изменение концентрации
электронов
e
n при переходе из точки с координатой
1
x и потенциалом
1
U в точку с координатой
2
x и потенциалом
2
U :
e
e
e
e
n
dn
Edx
D
b
=−
. (1.66)
После интегрирования (1.66) получается:
( )
1
2
12
ln
e
e
e
e
n
n
UU
D
b
=−
(1.67)
или
( )
−=
1212
exp UU
D
b
nn
e
e
ee
. (1.68)
Полагая, что для концентрации электронов справедливо распределе-
ние Больцмана: 
тельных ионов являются качественно аналогичными, различия за-
ключаются в знаке дрейфового слагаемого, определяемого различны-
ми направлениями движения этих частиц:

                                     1 dne
                    υe, X = − De           − be E ,         (1.63)
                                     ne dx

                                     1 dni
                     υi , X = − Di         + bi E .         (1.64)
                                     ni dx

     В условиях газового разряда часто встречается такой случай,
когда действие градиента концентрации и напряжённости поля вза-
имно компенсируются. Движение электронов при этом оказывается
беспорядочным, скорость направленного движения равна нулю:

                            1 dne
                      −D          − be E = 0 .              (1.65)
                            ne dx

Уравнение (1.65) позволяет установить изменение концентрации
электронов ne при переходе из точки с координатой x1 и потенциалом
U1 в точку с координатой x2 и потенциалом U 2 :

                               be      dn
                           −      Edx = e .                 (1.66)
                               De       ne

После интегрирования (1.66) получается:

                       be
                          (U 2 − U1 ) = ln ne 2             (1.67)
                       De                  ne1

или

                                 b             
                   ne 2 = ne1 exp e (U 2 − U1 ) .         (1.68)
                                  De           

Полагая, что для концентрации электронов справедливо распределе-
ние Больцмана:


                                       38

Страницы