Изучение электрофизических параметров полевого МДП транзистора. Гардин Ю.Е - 10 стр.

дится в режиме обогащения, поэтому ПС заполнены дырками. На участке 3 наоборот, ка-
нал постоянно открыт, и нет дырок достигающих поверхности. В обоих случаях величина
тока подложки состоит только из токов утечки истока и стока. На участках 4 и 5 величина
тока зарядовой накачки будет определяться рекомбинационными процессами при слабой
инверсии.
              Блок-схема и описание работы измерительной установки.
      Блок-схема установки для измерения параметров МДП транзистора приведена на
рис.4. Она состоит из устройства измерения тока, устройства формирования постоянных
напряжений и устройства генерации сигнала специальной формы цифровым методом. Все
устройства объединены общей шиной данных/управления и связаны через интерфейсную
плату с персональной ЭВМ типа IBM PC по шине ISA.
      Устройство формирования постоянных напряжений состоит из регистров, в кото-
рых хранятся цифровые коды генерируемых напряжений и цифро-аналоговых преобразо-
вателей (ЦАП), которые вырабатывают эти напряжения. Первоначально, цифровой код,
через программируемый порт ввода/вывода, выставляется на внутреннюю шину данных
прибора. При подаче разрешающего сигнала на управляющие линии происходит запись
кода в соответствующий регистр. Появившийся на выходе регистра код преобразуется
цифро-аналоговым преобразователем в постоянное напряжение. ЦАП1 используется для
генерации напряжения затвора (и пьедестала импульса в режиме CP), ЦАП2 и ЦАП3 для
формирования напряжений стока и подложки соответственно.
Для генерации импульсного воздействующего напряжения для режима CP используется
цифровой метод. Он позволяет получить сигнал любой формы в широком диапазоне час-
тоты повторения. Информация о форме сигнала записывается и хранится в оперативном
запоминающем устройстве (ОЗУ). При записи информации в ОЗУ генерация адреса ячей-
ки и байта данных осуществляется по внутренней шине данных/управления. При работе в
CP режиме чтение из ОЗУ тактируется с помощью внутреннего тактового генератора че-
рез программируемый делитель частоты. Считанная информация поступает на быстро-
действующий ЦАП4, где преобразуется в аналоговый сигнал. Полученный сигнал посту-
пает на суммирующий усилитель, где он накладывается на постоянное смещение, генери-
руемое с помощью ЦАП1. На выходе усилителя получается импульс заданной формы с
заданным смещением. Цифровой метод формирования импульсного воздействующего
напряжения обеспечивает универсальность и гибкость измерительной системы.
      Для измерения тока применяется электрометрический преобразователь сопротив-
лений, выходное напряжение которого кодируется в последовательность стандартных им-