Технологические процессы микроэлектроники. Наумченко А.С - 10 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТТИ ЮФУ | Таганрог

Составители: 

Рубрика: 

необходимо знать порядок интерференции, т. е. какое по счету
повторение цветов наблюдается. Для определения порядка
интерференции на окисленную пластину осторожно наносят
каплю плавиковой кислоты и в оксиде вытравливается лунка до
поверхности кремния. По периферии этой лунки наблюдается
ряд колец. Количество темных красно-фиолетовых колец
определяет порядок интерференции. Например, зеленый цвет
оксида
на втором кольце (полностью выявлено одно кольцо)
соответствует толщине 0,33 мкм, а на четвертом кольце
(полностью выявлены три кольца) — толщина 0.72 мкм. Этот
простой, не требующий оборудования метод позволяет
определить толщину окисла с погрешностью 5 … 10%. С
увеличением толщины пленки погрешность возрастает.
Методом цветовых оттенков нельзя определять толщину свыше
1,0 мкм, когда цветность практически
пропадает.
Достаточно прост и инструментальный метод определения
толщины оксида при помощи микроинтерферометра МИИ-4.
Сущность этого метода заключается в измерении высоты
«ступеньки» после стравливания окисла с части пластины. Для
улучшения условий отражений полученная после травления
ступенька покрывается тонким слоем отражающего металла
(например, алюминия). При наблюдении ступеньки в поле
зрения микроинтерферометра на
фоне поверхности видны серии
интерференционных полос, которые претерпевают излом на
ступеньке. Толщина пленки пропорциональна сдвигу
интерференционных полос одного порядка
d == (Δх/х) (
λ
/2), (1.3)
Δх — сдвиг центральной полосы (в относительных едини-
цах);
х — расстояние между соседними интерференционными
полосами (в относительных единицах);
λ
— длина волны се-
редины видимого спектра (0,55 мкм),
λ
/2=0,27 мкм
соответствует сдвигу полос на ступеньке, высота которой
соответствует расстоянию между соседними
интерференционными полосами (в белом свете). Погрешность
измерения толщины данным методом составляет примерно ±300
Å. Этот метод позволяет измерять толщину пленок SiO
2
до
20 ... 30 мкм.
Сварка расщепленным электродом напоминает термоком-
прессионную. Отличие состоит в способе нагрева места сварки.
Рис. 3.4
Нагрев осуществляется пропусканием электрического, тока
через зону сварки между изолированными друг от друга по-
ловинками электрода (рис. 3.5).
Рис. 3.5
На рис. 3.5 представлена схема устройства для сварки
расщепленным электродом, где 1 — рабочий столик;
2 — под
подложка с пленкой;
3 — привариваемый проводник; 4 — элек-
10 47

Страницы