Технологические процессы микроэлектроники. Наумченко А.С - 12 стр.

UptoLike

d, мкм
Порядок
интерференции
Цвет последней полосы
0.4400
0.4476
0.4586
0.4600
II
Красный
Фиолетово-красный
Фиолетовый
Красно-фиолетовый
0.4757
0.4800
0.4900
0.4983
0.5000
0.5200
0.5403
0.5526
0.5606
0.5703
0.5800
0.5813
0.6000
0.6088
0.6300
III
Голубовато-фиолетово-серый
Голубовато-фиолетовый
Голубой
Зелено-голубой
Голубовато-зеленый
Зеленый
Тускло-зеленый
Желто-зеленый
Зелено-желтый
Желто-серый
Светло-оранжевый
Сиреневато-серовато-
красный
Темно-розовый
Карминово-красный
Фиолетово-красный
0.6423
0.6690
0.6800
0.6826
0.7200
0.7700
0.7793
0.8000
0.8200
0.8500
IV
Серовато-красный
Голубовато-серый
Голубоватый
Голубовато-зеленый
Зеленый
Желтоватый
Бледно-розовый
Оранжевый
Желтовато-розовый
Светло-красновато-
фиолетовый
0.8600
0.8700
0.8893
0.8900
0.9200
0.9500
0.9700
V
Фиолетовый
Голубовато-фиолетовый
Бледно-зелено-голубоватый
Голубой
Голубовато-зеленый
Желто-зеленый
Желтый
микровыступов (по которым в первый момент осуществляется
касаниеконтактирование), в результате чего площадь
фактического касания соединяемых поверхностей
увеличивается. При сближении поверхностей соединяемых
материалов (в точках касания) на расстояние, близкое к
межатомным, возникают силы связи (Ван-дер-Ваальса,
обменные, атомные), обуславливающее их сцепление (адгезию).
Однако на этом процесс редко останавливается. Значительная
часть
межсоединений осуществляется по схеме токохимических
реакций, т.е. на первом этапе возникает сцепление за счет
физических сил адгезии, а на втором этапе или за счет
образования химических связей (соединений), или за счет
протекания диффузии и образования интерметаллических или
металлосилицидных химических соединений, т.е. за счет
образования на втором этапе переходного
слоя между соеди-
няемыми материалами. Вероятность образования переходного
слоя в значительной степени зависит от способности соединяе-
мых материалов образовывать низкотемпературные эвтектики
(как в системах: Au—Si, Al—Si). В последнем случае адгезия
выше [3].
Важным фактором при сварке является температура. Чем
выше температура, тем при меньших давлениях начинается
заметное сцепление. На рис. 3.3 приведена зависимость
прочности
соединения от температуры процесса.
Рис.3.3
Возникновение сцепления зависит от величины
прикладываемого давления. Как следует из экспериментальных
исследований [3] оптимальное давление находится в диапазоне
12 45