Технологические процессы микроэлектроники. Наумченко А.С - 11 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТТИ ЮФУ | Таганрог

Составители: 

Рубрика: 

Таблица 1.2
Определение толщины пленок методом цветовых
оттенках Ньютона
d, мкм
Порядок
интерференции
Цвет последней полосы
0.050
0.0700
0.0960
0.1020
0.1433
0.1500
0.1688
0.1700
0.1786
0.1836
0.1883
0.1916
0.1963
0.2000
0.2200
0.2216
0.2490
0.2500
0.2700
I
Бежевый
Коричневый
Темно-коричнево-красный
Индиго
Голубовато-серый
Светло-голубой
Зелено-голубой
Металлический
Бледно-зеленный
Желто-зеленый
Светло-зеленый
Зелено-желтый
Золотисто-желтый
Светло-золотистый
Золотистый
Оранжевый
Светло-красный
Красный
Красно-фиолетовый
0.2753
0.2810
0.2886
0.3000
0.3033
0.3100
0.3160
0.3200
0.3400
0.3500
0.3760
0.3830
0.3900
0.4100
04193
II
Пурпурный
Пурпурно-
фиолетовый
Фиолетовый
Фиолетово-голубой
Индиго
Голубой
Темно-голубой
Зелено-голубой
Светло-зеленый
Зеленый
Желтовато-зеленый
Грязно-зеленый
Желтый
Светло-оранжевый
Телесный
(7 ... 15) 10
7
Па. При большем давлении прочность
термокомпрессионного соединения падает из-за большой
деформации проволочного вывода и появления трещин в
кристалле полупроводника. Время сварки определяется
экспериментально и для различных систем находится в пределах
от 1 ... 2 до 10 с.
Рекомендуемые режимы термокомпрессионной сварки при-
ведены в табл. 3.1.
Таблица 3.1
Режимы сварки
Материал
полупроводника
или пленки
Температура
подогрева, С
0
Удельное
давление, 10
7
Па
Деформация
вывода, %
Время
сварки, с
Кремний
АI напыленный
на SiO
2
Кремний
АI на SiO
2
Вывод
350
350
Вывод
450
400
Золото
14…15
10…11
Алюминий
7
6…7
60
50
60
60
5…10
1…3
10
1…3
В промышленности для создания термокомпрессионных
соединений используются установки типа «Контакт - ЗМ, 5М».
Ультразвуковая сварка отличается от термокомпрессионной
наложением на рабочий инструмент (клин) продольных УЗ-
колебаний частотой не более 50 кГц, амплитудой до 10 мкм. При
этом облегчается процесс разрушения и удаление из зоны
контакта окисных пленок, смятие (деформация) микровыступов,
увеличение площади фактического
касания. Сцепление
возрастает. Поэтому с помощью УЗ-сварки можно соединить
даже те системы, которые нс свариваются термокомпрессией.
Схема установки для УЗ сварки приведена на рис. 3.4, где 1 —
магнитострикционный преобразователь;
2 — волновод; 3 —
крепежные детали установки;
4 — концентратор УЗ-энергий; 5
— рабочий инструмент;
6 — крепежный винт; 7 — проволока; 8-
11 46

Страницы