Технологические процессы микроэлектроники. Наумченко А.С - 9 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТТИ ЮФУ | Таганрог

Составители: 

Рубрика: 

окисления, поскольку предыдущее окисление не влияет на
последующее так же, как и перерыв в окислении.
1.2.3. Методика определения толщины оксидного слоя на
кремнии
Защитные свойства слоя SiO
2
во многом определяются его
толщиной. Поэтому естественно, что определение толщины
оксидного слоя является важной технологической операцией
при изготовлении интегральных схем. Измерение толщины
относительно тонкой пленки сопряжено с трудностями и требует
применения специальных методов. Наиболее прост в ис-
полнении метод цветовых оттенков Ньютона, основанный на
наблюдении интерференционных цветов в отраженном свете.
Интерференционные цвета обусловлены двойным отражением и
преломлением белого света, проходящего через прозрачную
пленку оксида кремния и отражающегося от непрозрачной
кремниевой подложки. При этом за счет разности хода лучей
возникает интерференция и поэтому тонкая прозрачная пленка
кажется в отраженном свете окрашенной. Цветность ее зависит
только от толщины и показателя преломления
Δ = 2ndsin a, (1.1)
где Δ — разность хода лучей;
п — показатель преломления
пленки;
а — угол отражения; d — толщина пленки. Если
наблюдение отраженного света производить под прямым углом
к поверхности пленки, то
Δ=2nd, (1.2)
Отсюда зная показатель преломления материала, легко
определить толщину на основании цвета пленки. Для SiO
2
d=Δ/3
так как
п = 1,5.
Зависимость толщины пленки от наблюдаемого цвета (при
перпендикулярном освещении образца) приведена в табл. 1.2.
Цветовые оттенки в табл. 1.2 повторяются примерно через
каждые 0.22 мкм, проходя весь спектр от фиолетового до
красного. Поэтому для однозначного определения толщины
троды;; 5 —изолирующий слой (слюда). Качество сварки зависит
от начального контактного электрического сопротивления и
сопротивления свариваемых материалов. Энергия для нагрева
подается в виде импульсов тока длительностью 0,01 с от
конденсатора через импульсный трансформатор (табл. 3.2):
Таблица 3.2
Режим сварка расщепленным электродом
Контактная площадка Проводник
Матери
ал
пленки
Под
слой
Толщи
на, мкм
Материал Ǿ, мкм
Напряжение на
первой обмотке
трансформатора,
В
Время
сварки,
С
Усилие
сварки, Н
Au
Au
Ni
Cr
Cr
Ta
0.5
0.5
0.5
Au
Al
Cu
40
100
60
60
70
120
0.5
0.4
0.6
30 · 10
-2
75 · 10
-2
60 · 10
-2
Сварка с косвенным импульсным подогревом V-образным
электродом является разновидностью термокомпрессионной
сварки. Сущность этого метода сварки заключается в следую-
щем: через инструмент пропускается импульс электрического
тока длительностью 0,01 ... 2 с. При этом торцовая часть ин-
струмента, находящаяся в контакте со свариваемой системой,
нагревается. Происходит локальный разогрев места сварки.
Рекомендуемые режимы сварки с косвенным
импульсным по-
догревом приведены в табл. 3.3.
Таблица 3.3
Режимы сварки с косвенным импульсным подогревом
к
и
и
9 48

Страницы