Технологические процессы микроэлектроники. Наумченко А.С - 13 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТТИ ЮФУ | Таганрог

Составители: 

Рубрика: 

1.3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ
1.3.1 Лабораторное задание
1. Получить пленки SiO
2
на кремнии методом термического
окисления во влажном кислороде.
2. Измерить толщину полученных оксидных пленок
методом оттенков Ньютона и при помощи
микроинтерферометра МИИ – 4.
1.3.2. Оборудование
1. Трубчатая однозонная печь горизонтального типа с
рабочей температурой до 1200
0
С типа СДО – 125/3.
2. Кислородный баллон с редуктором.
3. Pt-Pt/Rh – термопара.
4. Кварцевые держатели для пластин.
5. Микроинтерферометор МИИ – 4.
6. Фторопластовый стакан.
7. Установка вакуумного напыления типа УВН-71П-1
8. Пинцет с фторопластовыми' наконечниками.
9. Секундомер.
10. Корундовая игла.
11. Линейка.
12. Бюкс.
1.3.3. Материалы
1. Кремний n-типа с удельным сопротивлением 0,50 ... 4,5
Ом см (в виде пластин, полированных до 14 класса чистоты
поверхности).
2. Кислота плавиковая (48%).
3. Кислота азотная (концентрированная).
4. Лак ХСЛ
5. Растворители: толуол, этиловый спирт.
6. Фильтровальная бумага.
На рис. 3.1: 1 - рабочий столик; 2 — подложка; 3 — при-
соединяемый провод;
4 — инструмент для сварки;
на рис. 3.2: 1 — рабочий столик;
2 — подложка; 3 — оплав-
ленный золотой шарик;
4 — проволока для выводов; 5 — го-
ловка рабочего инструмента;
6 — газовая горелка.
Термокомпрессионная сварка широко применяется для
присоединения гибких (золотых или алюминиевых) выводов к
кремниевым кристаллам или к тонким металлическим пленкам.
Термокомпрессионная сварка осуществляется при одно-
временном приложении давления и подогрева к соединяемым
материалам.
Рис. 3.2
При этом за счет нагрева повышается способность
свариваемых материалов к упругой и пластической деформации.
А приложение давления способствует разрушению окисных
пленок (например, в системе Аl—Si, пленок SiO
2
и Аl
2
O
3
),
твердость которых при нагреве практически не изменяется, на
сравнительно упругих (пластичных) поверхностях свариваемых
материалов. Разрушенные пленки окислов в дальнейшем за счет
пластического течения деформируемого металла удаляются из
зоны контакта. В зоне контакта в результате пластической
деформации соединяемых материалов уменьшается число
13 44

Страницы