Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 2. Шутов Д.А - 13 стр.

      Для увеличения плотности монтажа ИМС (ГИС) используют многослойные
керамические пластины, представляющие собой чередующиеся слои керамического
материала и металлизации определённой толщины и заданного рисунка. Большую
роль при изготовлении ИМС играют комбинированные пластины, состоящие из
изоляционной основы с созданными в ней участками полупроводника, которые
могут располагаться как на поверхности, так и в специальных углублениях –
карманах. Достоинство комбинированных пластин по сравнению с чисто
полупроводниковыми - полная изоляция полупроводниковых участков друг от
друга, а недостаток – значительные внутренние механические напряжения,
возникающие в результате различия КТР изоляционного и полупроводникового
материалов. Это особенно характерно для комбинированных пластин КНС (кремний
на сапфире), так как различие КТР сапфира (8,4ּ10-6, 1/˚С) и кремния (3,6ּ10-6, 1/˚С)
достаточно велико. Широкое применение сапфировых подложек ограничивается
трудностями его изготовления и высокой стоимостью.

      Описание лабораторного макета
      Лабораторный макет состоит из набора кассет с образцами и лупы. В кассетах
содержится набор образцов пластин и подложек для изучения в лаборатории.
   Внимание! Пластины с образцами очень хрупки. После рассмотрения пластин
   сразу же ставьте их в кассету. При выполнении лабораторной работы
   недопустимо касаться поверхности пластин и подложек.

      Требования к отчету
      Отчет должен содержать:
      1. Титульный лист.
      2. Цель работы.
      3. Краткие теоретические сведения классификационного характера о
         материалах пластин и подложек для изготовления ИМС.
      4. Результаты выполнения заданий (п.п. 2,4 задания), сведенные в таблицу
         (пример таблицы \форма таблицы 5\ приведен в лабораторном задании в
         данной работе).
      5. Выводы по работе.

      Лабораторное задание
      Домашняя работа:
      1. Ознакомиться с описанием лабораторной работы.
      2. Подготовить начальную часть отчёта, содержащую титульный лист, цель
         работы и краткие теоретические сведения.
      3. Подготовить форму таблицы (см. ниже) для работы с ней в лаборатории.

                                                                   Форма Таблицы 5
     №      Материал     Характерные    Область                Параметры и
     п/п    пластин      признаки       преимущественного      характеристики,
                         внешнего       применения             определяющие
                         вида                                  область применения




      4. Подготовиться к ответам на контрольные вопросы.

                                         13