Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 2. Шутов Д.А - 136 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ИГХТУ | Иваново

Составители: 

Рубрика: 

Список рекомендуемой литературы
1. ГОСТ 17021-88. Микросхемы интегральные. Термины и определения.
2. Угай Я. А. Введение в химию полупроводников. М.: Высш. шк.”, 1975.
3. Пичугин И. Г. Таиров Ю. М. Технология полупроводниковых приборов. М.:
Высш. шк., 1984.
4. Пузырев В.А. Управление технологическими процессами производства
микроэлектронных приборов. М.: Радио и связь, 1984. 160с.
5. Моро У. Микролитография: В 2 ч., /Пер. с англ. М.: Мир, 1990.Ч.. 1,2
6. Курносов А.И., Юдин В.В. Технология производства полупроводниковых
приборов и интегральных микросхем: Учеб. пособие для вузов. М.: Высш.
шк.,1979.
7. Черняев В.Н.Технология производства интегральных микросхем и
микропроцессоров. М.: Радио и связь, 1987.
8. Коледов Л.А.Технология и конструкции микросхем, микропроцессоров и
микросборок. М.: Радио и связь, 1989.
9. Ивановский Г. Ф., Петров В. И. Ионно-плазменная обработка материалов.
Радио и связь,1986.
10. Парфенов О. Д. Технология микросхем. М.: Высш. шк.,1986.
11. Технология СБИС: В 2 кн. Пер. с англ. М.: Мир,1986.
12. Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств. М.: Радио и связь,
1991.
13. Сугано Т., Икома Т., Такэиси Е. Введение в микроэлектронику, /Пер. с яп.
М.: Мир, 1989.
14. Козырь И.Я., Горбунов Ю.И., Чернозуб Ю.С., А.С. Пономарев. Общая
технология. Из серии: Технология полупроводниковых приборов и изделий
микроэлектроники. Кн. 1. М.: Высш.шк., 1989.
Редактор В.Л. Родищева
Подписано в печать 7.12.2006. Формат 60x84
1/16
.
Бумага писчая. Усл. печ. л. 7,91. Уч.- изд. л. 8,77.
Тираж 100 экз. Заказ
ГОУВПО Ивановский государственный химико-технологический университет.
Отпечатано на полиграфическом оборудовании кафедры экономики и финансов
ГОУВПО “ИГХТУ”.
153000, г. Иваново, пр. Ф. Энгельса, 7.
136
              Список рекомендуемой литературы
  1. ГОСТ 17021-88. Микросхемы интегральные. Термины и определения.
  2. Угай Я. А. Введение в химию полупроводников. М.: Высш. шк.”, 1975.
  3. Пичугин И. Г. Таиров Ю. М. Технология полупроводниковых приборов. М.:
      Высш. шк., 1984.
  4. Пузырев В.А. Управление технологическими процессами производства
      микроэлектронных приборов. М.: Радио и связь, 1984. 160с.
  5. Моро У. Микролитография: В 2 ч., /Пер. с англ. М.: Мир, 1990.Ч.. 1,2
  6. Курносов А.И., Юдин В.В. Технология производства полупроводниковых
      приборов и интегральных микросхем: Учеб. пособие для вузов. М.: Высш.
      шк.,1979.
  7. Черняев В.Н.Технология производства интегральных микросхем и
      микропроцессоров. М.: Радио и связь, 1987.
  8. Коледов Л.А.Технология и конструкции микросхем, микропроцессоров и
      микросборок. М.: Радио и связь, 1989.
  9. Ивановский Г. Ф., Петров В. И. Ионно-плазменная обработка материалов.
      Радио и связь,1986.
  10. Парфенов О. Д. Технология микросхем. М.: Высш. шк.,1986.
  11. Технология СБИС: В 2 кн. Пер. с англ. М.: Мир,1986.
  12. Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств. М.: Радио и связь,
      1991.
  13. Сугано Т., Икома Т., Такэиси Е. Введение в микроэлектронику, /Пер. с яп.
      М.: Мир, 1989.
  14. Козырь И.Я., Горбунов Ю.И., Чернозуб Ю.С., А.С. Пономарев. Общая
      технология. Из серии: Технология полупроводниковых приборов и изделий
      микроэлектроники. Кн. 1. М.: Высш.шк., 1989.




                            Редактор В.Л. Родищева


               Подписано в печать 7.12.2006. Формат 60x841/16.
               Бумага писчая. Усл. печ. л. 7,91. Уч.- изд. л. 8,77.
                            Тираж 100 экз. Заказ

ГОУВПО Ивановский государственный химико-технологический университет.
Отпечатано на полиграфическом оборудовании кафедры экономики и финансов
ГОУВПО “ИГХТУ”.
                    153000, г. Иваново, пр. Ф. Энгельса, 7.




                                           136

Страницы