Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 2. Шутов Д.А - 82 стр.

     Требования к отчету
     Отчет должен содержать:
1.   Титульный лист.
2.   Цель работы.
3.   Краткие сведения по технологии (технологиям) изготовления МДП
     интегральных микросхем.
4.   Краткие сведения об изучаемом изделии.
5.   Результаты выполнения заданий, сведенные в таблицы формы 1 и 2.
6.   Выводы по работе, отражающие особенности конкретного изучаемого
     технологического процесса.

     Лабораторное задание
        Домашнее задание
1.   Ознакомиться с описанием лабораторной работы.
2.   Изучить технологию изготовления КМДП структур с алюминиевым и
     поликремниевым затворами, используя описание лабораторной работы и
     рекомендуемую литературу.
3.   Выполнить пп. 1 - 4 раздела «Требования к отчету».
4.   Подготовить форму таблицы 1 (2 шт.) и форму таблицы 2.
5.   Подготовиться к ответам на контрольные вопросы.
        Работа в лаборатории
1.   Рассмотреть под микроскопом образцы изделия 1 по заданному варианту,
     находящиеся в кассете 3-1.
2.   Определить, в какой последовательности они изготовлены.
3.   Заполнить графы формы таблицы 1, используя последовательность операций
     технологического процесса (таблица 1 описания) и отмечая характерные
     признаки операций.
4.   Рассмотреть под микроскопом образцы изделия 2 по заданному варианту,
     находящиеся в кассете 3-2 и повторить пп. 2, 3 данного раздела, заполняя
     форму таблицы 1 (второй ее экземпляр) с помощью данных таблицы 2
     описания.
5.   Произвести оптические измерения областей элементов по варианту,
     указанному в таблице 3, и занести результаты в форму таблицы 2.
7.   Показать преподавателю результаты выполнения работы и оформить отчет в
     соответствии с требованиями раздела «Требования к отчету».

                                                             Форма таблицы 1
            Технологические операции изготовления МДП ИМС
     Изделие__________ Технология__________________ Вариант__________

 №      Наименование операции в       Номер       Характерные      Номер
           маршрутной карте         операции в     признаки      пластины в
           ( табл. 11 или 12 )      маршрутной     операции        кассете
                                       карте




                                     82