Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 2. Шутов Д.А - 83 стр.

                                                               Форма таблицы 2
                  Конструктивные параметры МДП структур
    Обозначение                        Размеры
                    Наименование
    элемента по                                       Эскиз топологии элемента
                       области       мкм      мкм
       схеме

                                                                         Таблица 3
           Варианты элементов структур для оптических измерений
   Номер бригады           1и6       2и7      3и8      4и9      5 и 10     Резерв
   Номер варианта           1         2        3        4          5
   Изделие 1               VT 1      VD 1
   Изделие 2                         VD 1,    VT 1     VT 50    VT 51       R1,
                                     VD 2                                  VD1
                                                                           VD 2

     Порядок выполнения работы
Внимание!
Пластины с образцами очень хрупки. После рассмотрения пластин сразу же
ставьте их в кассету.
      1. Получить две кассеты 3-1 и 3-2 с номером варианта, соответствующего
номеру бригады. Номер варианта является третьим элементом обозначения кассеты.
      2. Рассмотреть под микроскопом образцы изделия 1, размещенные в кассете 3-
1. Для правильного определения названия технологической операции и их
последовательности необходимо учесть следующие рекомендации:
      а) найдите пластину (кристалл) с наименьшим количеством сформированных
областей и определите операцию, выполненную на этой пластине;
      б) помните, что поверхность чистого кремния в окнах маскирующего окисла
белая или светло - серая; поверхность чистого поликремния желтого цвета; окисел
на поверхности кремния может быть разного цвета, но области, которые
сформированы одновременно, имеют одинаковый цвет;
      в) затем найдите пластину, на которой выполнена следующая операция, и
определите ее наименование и т. д.;
      г) можно использовать и другую методику, основанную на анализе фигур
совмещения, которые располагаются на периферии кристалла.
      Результаты выполнения п.1 сводятся в форму таблицы 1, причем
наименование и номер операций берут из маршрутной карты (см. табл. 1 описания).
      3.Определить характерные признаки выбранных технологических операций и
занести в форму таблицы 1. К этим признакам относятся: наблюдаемые в поле
зрения окуляра микроскопа материалы пленок или масок на поверхности пластины,
цвет окраски слоев и окон, состояние поверхности и т. п.
      4. Рассмотреть под микроскопом образцы изделия 2, размещенные в кассете 3-
2. Для правильного определения названия технологической операции, ее
характерных признаков и последовательности этих операций необходимо
использовать рекомендации пп. 2, 3. Результаты работы сводятся в форму табл. 1.
      5. Произвести оптические измерения конструктивных параметров элементов
МДП ИМС по заданному варианту (по табл. 3) в соответствии с номером бригады.
Для этого необходимо:
      а) определить цену деления шкалы окуляра микроскопа;
                                       83