Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 1. Шутов Д.А - 115 стр.

       смолы в спрессованном препреге).
       В качестве общих положений процесса склеивания можно отметить
следующие:
       1). Равномерность нагрева пакета, более высокая при его загрузке в
холодные плиты, т.к. прогрев происходит по мере повышения температуры на
обогревных плитах и неравномерность температуры плит пресса сглаживается
теплопроводностью       плит    и    приспособления     для    склеивания.   Но
производительность процесса склеивания снижается.
       2). Во время прогрева пакета не следует допускать максимального давления,
т.к. при достижении температуры начала текучести смолы ее течение (под высоким
давлением) может вызвать сдвиг проводников. Правильнее, если на период
прогрева пакета до температуры на 10-15°С выше начала размягчения смолы
плиты пресса просто сомкнуть на пресс-формах или дать минимальное давление.
       3). Верхний предел температуры нагрева пакета определяет скорость
реакции полимеризации. Он должен быть ниже температуры деструкции полимера
не менее чем на 10-20 С. С увеличением верхнего предела температуры возрастает
скорость отверждения и получается более рыхлая структура.
       4). Величина давления, прикладываемого к пакету, определяет течение
смолы и равномерность заполнения ею пустот между проводниками слоев.
Излишне высокое давление вызывает слишком большое выдавливание смолы при
достижении ею максимума текучести, на недостаточном давлении не
обеспечивается равномерность заполнения пустот рельефа. Оптимальным
считается давление, при котором в процессе прессования величина облоя 5-10 мм.
       5). Суммарное время склеивания определяется временем достижения
максимальной температуры склеивания, временем выдержки при максимальной
температуре и скоростью охлаждения пакета. Время выдержки при максимальной
температуре зависит от скорости полимеризации смолы.
       6). Охлаждение склеенного пакета рекомендуется выполнять, не снимая
давления (даже на короткое время). Скорость охлаждения выбирается
производителем. Температура, при которой производится разъем пресс-форм
должна быть не выше 40°С.
       Для снятия напряжений в МПП после прессования используется либо
дополнительное термокондиционирование, либо проводится длительное
охлаждение в прессе и разъем пресс-форм через 12 часов после съема с пресса.
       Обрезка облоя производится по шаблону, для сохранения постоянных
размеров спрессованной МПП, что необходимо участкам сверления и гальваники.
       Контроль качества спрессованных МПП невозможен без разрушения пакета,
в связи с чем большое значение приобретает контроль и соблюдение режима
склеивания, т.е. технологическая дисциплина. В качестве косвенного контроля
рекомендуется контроль величины облоя и замеры толщины спрессованной МПП,
которые должны соответствовать расчетной.

      Сверление отверстий.
      Для сверления слоев и пакетов ПП предпочтение отдается станкам,
имеющим 80 000 - 110 000 об/мин шпинделя с воздушным подшипником. Биение
такого шпинделя не превышает 3 мкм. Для уменьшения вибрации станки
устанавливаются на воздушные подушки.
      Сверление отверстий малых диаметров (от 0,5 до 0,3 мм) требует

                                      115