Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 1. Шутов Д.А - 117 стр.

подкладывается тонкий (0,1 мм) алюминиевый лист. Такой метод позволяет
получить качественное сверление особо тонких диэлектриков, не увеличивая
существенно толщины сверления.
       Требования к качеству отверстий малого диаметра, просверленных в ПП с
соотношением толщина платы - диаметр сверла более чем 10:1:
       •     перпендикулярность отверстия должна гарантировать отсутствие
       разрыва контактной площадки на противоположной стороне печатной
       платы;
       •     качество стенки просверленного отверстия может быть неодинаковым
       на входе и выходе отверстия из печатной платы, однако оно должно быть
       приемлемым и достаточным для последующей обработки отверстия в
       плазме;
       •     шероховатость стенок просверленных отверстий должна быть не более
       30 мкм;
       •     величина заусенцев на контактных площадках медных слоев не более
       10 мкм;
       •     метод извлечения обломка сверла из отверстия должен гарантировать
       сохранность этого отверстия для дальнейшей его обработки;
       •     при двухстороннем сверлении отверстий величина несовпадения двух
       просверленных навстречу друг другу отверстий не должна препятствовать
       вставлению в отверстие стального калибра диаметром на 50 мкм меньше
       диаметра сверла;
       Глубина внедрения в материал платы твердосплавного сверла должна быть
меньше длины нарезной части сверла на 2 диаметра сверла.
       Разрушение сверла происходит при внедрении его в материал платы на
глубину в 13 раз превышающую диаметр сверла.
       Сверло ломается при закупоривании стружковыводящей канавки и, таким
образом, в большинстве случаев глубина сверления ограничивается длиной
нарезной части сверла.
       Методы глубокого сверления, которые ограничиваются длиной нарезной
части сверла:
       •     Метод обычного сверления всех отверстий, заложенных в программу,
       до определенной глубины.
       •     Метод двухстороннего сверления плат.
       •     Метод многоразового сверления одного и того же отверстия.
       •     Метод сверления, последовательно наращиваемой толщины печатной
       платы: для первого сверления выбирается толщина, которая надежно, без
       поломок сверл просверливается на сверлильной станке. Для второго
       сверления сверху приклеивается плата (или ее часть) такой же толщины и
       просверливается по той же программе, и так далее. Достоинством метода
       является очень большая (до 50:1 и больше) глубина сверления и
       возможность сверхглубокого сверления обычными стандартными сверлами.
       При сверлении до глубины 15:1 двухлезвийными сверлами наблюдается
инструментальный разброс по поверхности до 20 - 15 мкм и увод сверла на
противоположной стороне платы до 15 - 25 мкм. Инструментальный разброс
хорошо компенсируется алюминиевым листом 0,15 - 0,2 мм, накладываемым
сверху. Увод сверла полностью компенсируется применением трехлезвийных
сверл.

                                     117