Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 1. Шутов Д.А - 123 стр.

      Плотность тока 0,3-1 А/дм.
      Чтобы достичь хорошего результата нужна оптимизация               экранов
(проводящие - непроводящие) и распределения катодов и анодов.

      Химическая металлизация.
      Первоначально медные растворы были так называемого типа тонкого
наращивания, разработанные для температурного интервала 25-30°С, и осаждения
от 0,25 до 0,5 мкм. На платах затем гальванически наращивалась медь от 5 до 7
мкм перед формированием рисунка.
      В настоящее время введены системы среднего наращивания - от 2,0 до 3,0
мкм меди, вследствие чего исключается необходимость гальваники перед
формированием рисунка.
      Для получения такой меди необходимо не только мастерство химического
осаждения, но и знание инженерных деталей процесса. Ключевые из них
следующие:
      •     Применение системы стабилизирования.
      •     Хорошая циркуляция раствора ванны.
      •     Использование чистых химикатов и концентратов.
      •     Применение автоматизированного дозирования для добавления
      химикатов.
      •     Непрерывная автоматизированная система анализа.
      •     Точный контроль плотности раствора.
      Система стабилизирования включает в себя:
      •     фильтрацию раствора;
      •     барботаж воздухом;
      •     охлаждение раствора химического меднения после работы и нагрев
      его перед работой;
      •     использование эффективных стабилизаторов.
      Добиться высококачественного контроля и обеспечить стабильность ванны
без эффективной фильтрации практически невозможно. Грязь или нерастворимые
частицы могут действовать как центры кристаллизации, на которых инициируется
беспорядочное выделение меди, ведущее к самопроизвольному разложению
раствора. Непрерывная фильтрация является одним из действенных способов
предотвращения этого разложения и сокращения времени на последующую
очистку ванн и коммуникаций. Для снижения энергии активации и,
соответственно, замедления скорости реакций металлизации полезно охладить
раствор меднения на 2-3°С.
      Во время хранения ванны желательна непрерывная циркуляция или легкая
аэрация ванны воздухом. Как показывает опыт работы, на каждые 190-200 л
раствора, как минимум, необходим один фильтрующий патрон высотой 250 мм и
размером пор не более 15 мкм. Важным моментом, контролирующим реакцию
химического меднения, является применение стабилизирующих компонентов,
предотвращающих разложение раствора.
      Относительное удлинение высококачественной меди составляет 6-8%,
прочность на разрыв 35 - 40 кг/см2, после сушки в течение 1 часа при температуре
120°С относительное удлинение возрастает до 12 - 15%.
      Такую медь можно получить при скорости осаждения 3-4 мкм/час.
      Для этого необходима комбинация таких свойств, как устойчивость,

                                      123