Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 1. Шутов Д.А - 28 стр.

      Для того чтобы проводящий рисунок не наращивался выше фоторельефа,
используются толстые фоторезисты, в частности, СПФ-2 толщиной 60 мкм.
Гальванически сформированная часть печатных элементов определяется размерами
освобождений в фоторельефе.
      При правильно подобранных режимах получения изображения в пленочном
фоторезисте ширина проводника по металлорезисту равна размерам изображения
на фотошаблоне. В процессе травления происходит одновременное травление
выступающих проводников с боков. Величина бокового подтрава соизмерима с
глубиной травления, т.е. суммарной толщине медных слоев и составляет в
рассматриваемом варианте 30-40 мкм. После травления по бокам проводников
имеет место нависание металлорезиста, как указывалось раньше для случая
применения тонкой фольги.
      При оплавлении металлорезиста ПОС-61 за счет поверхностного натяжения
расплавленного припоя - медные проводники покрываются ПОС-61 с заполнением
пазух и выравниванием бокового профиля. Размер печатного элемента по ширине
уменьшается примерно на суммарную величину нависания металлорезиста по двум
сторонам.
      Для плат, изготовленных по субтрактивной технологии среднее значение
ширины проводников на готовых MПП после оплавления припоя, изготовленных
по субтрактивной технологии, на 75-80 мкм меньше чем на фотошаблоне.
      Применение “тентинг”-метода для получения проводников наружных слоев
МПП аналогично описанной ранее технологической схеме для получения
внутренних слоев.

      Описание лабораторного макета
      Лабораторный макет состоит из набора кассет с образцами и лупы.
      В кассетах содержатся: образцы после различных операций техпроцесса
создания слоев и многослойного пакета многослойной печатной платы. Образцы
имеют коды, соответствующие кодам операций.

     Требования к отчету
     Отчет должен содержать:
        1. Титульный лист;
        2. Цель работы;
        3. Краткие сведения по применяемым основным материалам;
        4. Краткие сведения по технологии изготовления слоев и пакета МПП;
        5. Результаты выполнения заданий, сведенные в таблицы.
        6. Выводы по работе.

     Лабораторное задание
     Домашняя работа:
       1. Ознакомится с описанием лабораторной работы;
       2. Подготовить 2 экземпляра формы Таблицы 1 и 1 экземпляр формы
          таблицы 2;
       3. Выполнить пункты 1-2 требований к отчету;
       4. Изучить теоретические сведения;
       5. Подготовиться к ответам на контрольные вопросы.


                                     28