Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 1. Шутов Д.А - 52 стр.

                                     а).




                                     б).




                                      в).
 Рис. 10. Способы изоляции элементов: а) обратно - смещенным р-n -переходом;
б) диэлектриком; в) комбинированный; wp-n - обедненный слой изолирующего р-n-
              перехода; d - толщина диэлектрика (окисла кремния).

      Описание лабораторного макета
      Для выполнения работы используется следующая аппаратура:
      Лабораторный макет, состоящий из кассеты с образцами, лупы и
микроскопа.
      Номер кассеты состоит из двух групп цифр: 1-ая цифра в 1-ой группе цифр
обозначает номер лабораторной работы, 2-ая цифра обозначает номер кассеты в
данной лабораторной работе; 1-ая цифра во второй группе цифр обозначает номер
варианта, 2-ая цифра обозначает номер образца.
      Внимание!
      Пластины с образцами очень хрупки. После рассмотрения пластин сразу же
ставьте их в кассету.

       Требования к отчету
       Отчет должен содержать:
1.     Титульный лист;
2.     Цель работы;
3.     Краткие теоретические сведения о конструкции, элементах и компонентах
ГИС;

                                     52