Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 1. Шутов Д.А - 64 стр.

      Контактную печать изображения рисунка на резист проводят с ФШ,
обращенного эмульсионной стороной к резисту, чтобы исключить рассеяние света
на подложке. Поэтому для получения в резисте прямого изображения рисунка
верхних слоев изготавливают фотошаблон с зеркальным изображением рисунка
ПП.
      Для получения в резисте зеркального изображения рисунка нижних слоев
изготавливают фотошаблон с прямым изображением рисунка ПП. Фотошаблоны,
используемые для печати рисунка на резист, называют рабочими фотошаблонами -
РФШ.
      Из выше сказанного следует, что технология изготовления фотошаблонов
для МПП должна обеспечивать изготовление следующих типов фотошаблонов:
•     ФШ с негативным и позитивным изображением рисунка,
•     ФШ с прямым и зеркальным изображением рисунка.
      Современное     оборудование    для    изготовления    фотошаблонов   -
фотокоординатографы и генераторы изображений - обеспечивают получение
прямого и зеркального изображения рисунка в позитивном и негативном вариантах
с одного вида управляющей информации за счет внутренних программных
устройств.
      Маркировка     фотошаблонов     выполняется    при    вычерчивании   на
фотокоординатографе или генераторе и содержит децимальный номер ПП и номер
слоя в структуре ПП. Маркировка на рабочих фотошаблонах читается со стороны
подложки. Зеркальные фотошаблоны могут иметь обозначение нуля координат
рисунка слоя - «О».
      Для изготовления фотооригинала на фотопленке или на фотопластине с
позитивным изображением рисунка используют фотокоординатографы и
генераторы изображений. Для изготовления фотооригинала с негативным
изображением рисунка (негатива) более целесообразным является применение
генераторов изображений, т.к. производительность генераторов изображений не
зависит от конфигурации топологии и площади, занимаемой элементами рисунка,
и,   в     целом,   превосходит    производительность     оптико-механических
координатографов в 8-10 раз.
      Рабочие фотошаблоны, используемые непосредственно для печати рисунка
слоев на резист, изготавливают методом контактной печати с фотооригинала. В
настоящее время наибольшее распространение в производстве ПП получили
фотошаблоны, изготавливаемые на фотопленках. Для изготовления рабочих
фотошаблонов предпочтительнее использовать диазопленки, обладающие более
высокой разрешающей способностью и более высокой износостойкостью, чем
фотоэмульсионные. Необходимо учитывать, что при копировании рисунка с
позитивного фотошаблона на диазопленку формируется позитивное зеркальное
изображение рисунка, с негатива получается зеркальный негатив, т.е. ДП
формирует тоже изображение, что и на оригинале, но зеркально отображенное.
      Для совмещения фотошаблона с заготовкой ПП служат базовые отверстия.
Пробивка базовых отверстий осуществляется относительно реперных знаков на
фотошаблоне на пробивных специальных устройствах. Точность расположения
реперных знаков на фотошаблоне и точность изготовления отверстий определяют
точность сборки комплекта фотошаблона.
      В зависимости от сложности ПП, изготавливаемых в производстве,
формируются технические требования к фотошаблонам. Общими техническими

                                     64