Процессы микро- и нанотехнологий. Ч. 1. Шутов Д.А - 65 стр.

требованиями для всех классов фотошаблонов, являются:
•     соответствие рисунка схемы на ФШ проектному заданию,
•     соответствие геометрических размеров элементов рисунка на ФШ
«Техническим требованиям на комплект ФШ» соответствующего типа изделия ПП.
      Фотошаблоны для производства высокоплотных МПП должны не только
отвечать высоким техническим требованиям, но и обладать высокими
фотографическими качествами:
•     Высокая разрешающая способность изображения рисунка топологии и
других элементов. Фотошаблон содержит элементы рисунка весьма малых
размеров. Минимальная ширина линий на фотошаблоне может быть 100 мкм и
менее на фотошаблоне для сверхплотных МПП. Четкость и ровность края такой
линии определяется контрастной зоной шириной в 3-5 мкм, что соответствует
разрешающей способности 300 лин/мм.
•     Высокая контрастность изображения, т.е. максимально большая оптическая
плотность непрозрачных участков и прозрачность остальных областей. Оптическая
плотность Д непрозрачных участков должна быть не менее 3,5. Плотность вуали Д
на прозрачных участках должна быть менее 0,1.
•     Высокая точность соблюдения размеров элементов рисунка, шага
расположения элементов и совмещаемость фотошаблонов в комплекте. Эти
требования связаны с допуском на электрические и волновые параметры МПП.
Точность на размеры элементов и точность по шагу определяется так же
необходимостью      совмещения    фотошаблонов     в   комплекте.    Комплект
фотошаблонов для МПП может состоять из 30 и более фотошаблонов. Точность
совмещения фотошаблонов, достижимая с применением современного
оборудования, для изготовления базовых отверстий составляет величину ±0,05 мм.
Точность по шагу - ±0,01 мм.
      Стабильность размерных характеристик.
      Фотошаблоны, изготавливаемые на фотопленке, могут менять свои размеры
с изменением температуры и влажности окружающей среды. В производстве
фотошаблонов должны использоваться фотоматериалы с малоусадочной основой.
Таким требованиям в наибольшей степени отвечает основа фотоматериала из
полиэстера (лавсана).
      При повышенных требованиях к точности фотошаблонов используются
фотошаблоны, изготовленные на фотопластинах.
      Выполнение всех технологических операций должно проводиться с
соблюдением климатических условий: температура 20±1°С, влажность 55-60%.
      Устойчивость к истиранию.
      Эмульсионный фотошаблон теряет свои качества после 15-20 операций
контактной печати. Фотошаблоны на диазопленках имеют более высокую,
примерно в 2-5 раз, механическую прочность по отношению к эмульсионному
фотошаблону.
      Фотошаблон должен иметь минимальное количество дефектов: царапин,
проколов, вырывов на прозрачных участках, пятен, вкраплений в виде темных
точек и пузырьков на прозрачных участках. Допускается ретушь дефектов
размером менее 0,025 мкм.
      Схема технологических процессов изготовления фотошаблонов в
современном производстве ПП.
      Выбор оборудования и материалов для изготовления фотошаблонов

                                      65