Методы формирования структур элементов наноэлектроники и наносистемной техники - 17 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

зондом СЗМ и подложкой, поверхность может быть локально

модифицирована. Существует несколько основных механизмов

модификации поверхности исследуемого образца с помощью

зонда СЗМ: электрический, температурный, механический,

химический, а также различные комбинации между данными

механизмами.

1.2.1. Механическая модификация поверхности с

помощью АСМ

В последние годы интенсивно развивается одно из

направлений сканирующей зондовой микроскопии – атомно-

силовая литография. Данный метод является весьма

перспективным, так как позволяет с помощью относительно

недорогого и доступного инструмента создавать рисунок на

поверхности образца с характерными размерами в несколько

десятков нанометров [19].

Атомно-силовая литография в свою очередь подразделяется

на статическую и динамическую. При работе СЗМ в режиме

динамической силовой литографии (ДСЛ) происходит

непосредственное атомно-силовое воздействие острия зонда на

поверхность образца, так называемая «наночеканка». С

использованием ДСЛ модификация поверхности происходит за

счет формирования углублений на поверхности образца острием

зонда, при этом СЗМ работает в полуконтактном режиме

сканирования.