ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
43
металла/электролита через формирующуюся плёнку окисла.
Второй вариант – когда рост окисла имеет место на границе оксид
– электролит. В этом случае рост оксида определяется
единственным переходом ионов металла через формирующийся
оксид. Также возможно участие обеих границ раздела при
формировании оксида.
2.2. Термодинамический анализ реакций ЛАО титана
Для повышения воспроизводимости процесса ЛАО пленки
титана в данной работе предложено использовать стимуляцию
УФ-излучением. УФ-излучение активирует из кислорода
несколько активных частиц, которые могут влиять на процесс
окисления Ti и, вступая с ним в реакцию, окислять его
поверхность.
В результате воздействия УФ-излучения на молекулы в
газовой фазе могут рождаться химически активные частицы,
эффективно взаимодействующие с поверхностью подложки.
При облучении поверхности подложки УФ-излучением, с
вероятностью близкой к единице, происходит диссоциация
кислородных молекул O
2
(
3
g
) по схеме
O
2
(
3
g
)+hν→ О(
3
Р)+ О(
1
D). (2.4)
Диссоциация озона (О
3
), при поглощении света с длиной
волны порядка 400 нм, при комнатной температуре, происходит
по схеме
O
3
+hν→ О(
1
D)+O
2
(
1
Δ
g
). (2.5)
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 41
- 42
- 43
- 44
- 45
- …
- следующая ›
- последняя »
