ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
41
покрывает поверхность, реагенты эффективно разлагаются и
дальнейшая реакция может происходить, только если катионы,
анионы или их часть будут способны диффундировать через
формирующуюся плёнку окисла. При этом скорость процесса
окисления будет определять адсорбция кислорода на поверхности,
транспорт (массы или зарядов) к любой из двух границ раздела или
транспорт (массы или зарядов) через плёнку оксида.
Процесс анодного окисления металла при этом можно описать
рядом уравнений [62].
На металлическом аноде возможно протекание следующих
реакций:
Ме + nН
2
О → МеО
х
+ 2nН
+
+ 2nе
–
. (2.1)
2Н
2
O = O
2
↑ + 4H
+
+ 4e
-
. (2.2)
Рис. 2.1. Схема нанолитографии методом ЛАО
На рис. 2.2 показана схема двух возможных механизмов
ЛАО природного MeO
x
слоя, существующего на поверхности
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 39
- 40
- 41
- 42
- 43
- …
- следующая ›
- последняя »
