Методы формирования структур элементов наноэлектроники и наносистемной техники - 39 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

2. Какие методы нанолитографии основаны на

использовании пучков высокой энергии? Опишите их

достоинства и недостатки.

3. Опишите принцип проведения локального анодного

окисления.

4. Каким образом происходит модификация поверхности

подложки при проведении динамической силовой

нанолитографии.

5. Опишите перспективы развития структур элементов

наноэлектроники.

МОДУЛЬ 2. ПРОЦЕССЫ В ЗАЗОРЕ СКАНИРУЮЩЕГО

ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА ПРИ ПРОВЕДЕНИИ ЛАО

Цель работы: изучение основных процессов в зазоре

сканирующего зондового микроскопа при формировании

наноразмерных структур методом локального анодного окисления.

В ходе второго модуля будут приобретены следующие

компетенционные навыки: знание основных механизмов ЛАО

металла, а также наиболее вероятных реакций, протекающих при

ЛАО пленки титана. Способность использования математической

модели локального анодного окисления для расчета режимов

формирования наноразмерных структур на основе тонких пленок

металлов. Полученные компетенции могут быть использованы при

разработке технологических процессов формирования элементов

наноэлектроники методом ЛАО.