Методы формирования структур элементов наноэлектроники и наносистемной техники - 40 стр.

UptoLike

40
2.1. Механизмы ЛАО металла
Существует несколько механизмов ЛАО. Наиболее широкое
распространение получил следующий механизм: при проведении
ЛАО воздействие на поверхность проводится путем подачи к
системе проводящий зонд-подложка импульсов напряжения. При
этом в жидкостном мениске, образующемся под острием зонда, и
основу которого составляет адсорбированная на поверхности
подложки вода, протекает электрохимическая реакция,
сопровождающаяся процессами электро- и массопереноса
ионизированных атомов подложки и гидроксильных групп с
образованием оксидов и водорода [59 - 61].
На рис. 2.1 изображена схема электрохимической ячейки,
используемой при проведении ЛАО металла. Электролит, основу
которого составляет адсорбированная на поверхности металла
вода, находящийся вокруг электродов, поставляет заряженные
частицы к поверхности растущего окисла. Вода, расходуемая на
окисление, поступает в зазор между зондом и образцом из воздуха.
Электронная проводимость осуществляется через внешнюю цепь.
Это позволяет сделать допущение, что ионный перенос следует
рассматривать в аспекте механизма роста оксида. Начальные
стадии окисления проходят очень быстро, поступающий кислород
реагирует с основными атомами металла. В результате электрон
переносится между металлом и окисным слоем, формируется
двойной слой или диполь, с отрицательно заряженным на
начальной стадии внешней поверхностью. Затем плёнка окисла