ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
37
для селективного роста углеродных нанотрубок (УНТ) [58]. В
работах [59, 60] приведены результаты экспериментальных
исследований метода лазерного напыления полупроводниковых
нанокристаллов ZnO, Zn
x
Mg
1-x
O на подложках Si и Al
2
O
3
(11-
20), при этом катализаторами процесса роста нитевидных
кристаллов по механизму пар-жидкость-кристалл являлись
самоорганизующиеся из расплава тонких плёнок
каталитические центры Au, Ni, а также NiO [61].
В работе [58] селективный рост углеродных нанотрубок
проводился на подложках Si с нанесенными оксидными
наноразмерными структурами никеля, имеющими различную
геометрическую форму, с помощью метода осаждения из
газовой фазы. При проведении эксперимента, сначала с
помощью метода ЛАО на поверхности пленки никеля с
помощью СЗМ Smena (НТ-МДТ, Россия) были сформированы
ОНС никеля различной геометрической формы (рис. 1.11, а,в,д).
Затем неокисленная пленка никеля удалялась с помощью
метода жидкостного травления, в результате чего на подложке
Si формировались ОНС никеля. После этого обработанная
подложка закреплялась на SiC подложкодержатель и
загружалась в установку газофазного осаждения. В результате
вокруг полученных методом ЛАО оксидных наноразмерных
структур происходил рост углеродных нанотрубок (рис. 1.11,
в,г,е). Также в работе [58] отмечалось, что селективный рост
УНТ может быть реализован на подложках никеля, не
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 35
- 36
- 37
- 38
- 39
- …
- следующая ›
- последняя »