Методы формирования структур элементов наноэлектроники и наносистемной техники - 35 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

показанный на рис. 1.9, обладает рядом достоинств по

отношению к КТК с двойным затвором [55, 56]. Во-первых, Т-

образная форма КТК позволяет контролировать размеры КТК за

счет оксидной линии, разделяющей исток и сток, ширина

которой может быть очень небольшой. Во-вторых, оксидная

линия затвора является прямой, за счет чего повышается

эффективность управления прикладываемым к затвору

напряжением по сравнению с другими геометрическими

конструкциями, сопоставимых

Рис. 1.9. 3D АСМ-изображение Т-образного квантового

точечного контакта, полученного методом ЛАО (а). 2D АСМ-

изображение КТК, изображенного на рис. 1.9,а (б).

Профилограмма вдоль линии на рис. 1.9,б (в)

по размерам КТК. Более того, Т-образная форма КТК может

быть использована при исследовании воздействия оксида на

динамику движения электронов. Путем приложения напряжения