ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
33
пространственное разделение между оксидом и 2D ЭГ слоем,
которое создает неоднородности в 2D ЭГ, снижающие
подвижность электронов, так как дефекты, созданные
окислением, размещаются вблизи поверхности образца.
Основным недостатком метода ЛАО является ограничение
глубины проникновения оксида в подложку (несколько десятков
нанометров), которое ослабляет модификации 2D ЭГ слоя,
расположенного на глубине порядка 30-40 нм под
поверхностью. В последние годы несколько групп пыталось
превзойти этот предел путем модификации химической среды в
технологической камере или путем напыления тонкого слоя
металла на поверхность подложки, который увеличивал
локальную проводимость. Однако полученные результаты
имели низкую воспроизводимость, и проблема увеличения
глубины проникновения оксида в подложку остается до конца
не решенной.
На рис. 1.8 показано АСМ-изображение квантовой точки,
сформированной методом ЛАО. Структура квантовой точки
включает области истока и стока, двух закрытых квантовых
точечных контакта Q1 и Q2, при приложении напряжения к
которым, формирующих туннельные барьеры, между которыми
образуется островок. Также в структуру квантовой точки входит
область 1, напряжение которой управляет потенциалом
островка. При низких температурах на характеристике этого
устройства четко видны пики проводимости при Кулоновской
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 31
- 32
- 33
- 34
- 35
- …
- следующая ›
- последняя »
