Методы формирования структур элементов наноэлектроники и наносистемной техники - 46 стр.

UptoLike

46
Ti+2H
2
O
TiO
2
+2H
2
. (2.12)
Значения энтропии и энтальпии для основных
составляющих данных уравнений реакций были взяты из
справочника [67].
Таблица 2.1
Термодинамические величины реакции окисления [66]
Вещество
0
298
H , кДж/моль
0
S (298),
Дж/(моль×К)
Ti
0
30,6
O
247,4
160,95
O
0
205,03
O
142,3
238,8
H
0
130,6
H
2
O
285,84
69,96
TiO
2
943,9
50,23
Оксидные наноразмерные структуры TiO
2
на поверхности
титана методом ЛАО получают при температуре 298 К, поэтому
свободная энергия Гиббса была рассчитана для данного
диапазона по уравнению (2.9). Опираясь на утверждение, что
чем ниже свободная энергия Гиббса, тем вероятнее протекание
той или иной реакции, можно сделать вывод, что наиболее
вероятным является процесс Ti+O
2
TiO
2
.
Известно [68], что под воздействием УФ-излучения
происходит разложение кислорода на шесть разновидностей
активных частиц, в том числе атомарного кислорода и озона.
Наличие данных реагентов позволит снизить энергию активации