ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
47
процесса окисления, а также увеличить скорость реакции.
Возможными вариантами протекания реакции окисления в
данном случае будут следующие:
Ti +4O
TiO
2
+O
2
. (2.13)
Ti+3O
TiO
2
+O. (2.14)
3Ti+4O
3
3TiO
2
+3O
2
. (2.15)
Ti+O
3
TiO
2
+O. (2.16)
Из анализа полученных данных можно сделать вывод, что
реакция взаимодействия атомарного кислорода и озона с
титаном позволяет интенсивнее влиять на процесс окисления.
2.3. Оценка распределения температуры в области
воздействия зонда при ЛАО титана
Нагрев подложки под кантилевером происходит за счет
воздействия электронного луча, образующегося при
приложении напряжения заданной амплитуды к системе зонд-
подложка, во время проведения процесса локального анодного
окисления поверхности подложки. Оценка распределение
температуры в подложке проводилась с использованием
уравнения теплопроводности [69, 70].
lrlr
ee
r
l
l
UI
TTrT
//
0
12
4
)()(
,
(2.17)
где
U
– напряжение, приложенное к системе зонд-подложка;
I
– ток;
– коэффициент теплопроводимости подложки;
l
–
длина неупругого рассеяния электронов в подложке.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 45
- 46
- 47
- 48
- 49
- …
- следующая ›
- последняя »
