ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
48
При этом распределение электрического поля определяет
высоту и ширину создаваемого окисла. Для расчета
электрического поля между зондом и образцом зонд АСМ
можно смоделировать как конус длиной L, на конце которого
находится сфера радиусом R. Параметр z характеризует
расстояние, на котором вершина зонда находится от
поверхности образца (рис. 2.3).
При приложении напряжения между образцом и зондом
формируется электрическое поле. Распределение
электрического поля по поверхности подложки зависит от
формы зонда и описывается выражением [71]:
U
rRzz
RzRzR
rE
2
3
22
)(2
)2)((
)(
,
(2.18)
где U – напряжение системы зонд-подложка; R – радиус
вершины острия зонда, z – расстояние между зондом и
подложкой; r – радиальное расстояние по поверхности образца.
Рис. 2.3. Модель зонда АСМ
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 46
- 47
- 48
- 49
- 50
- …
- следующая ›
- последняя »
