Методы формирования структур элементов наноэлектроники и наносистемной техники - 53 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Рис. 2.7. Модель процесса ЛАО металла

Для определения кинетики процесса окисления необходимо

установить временную зависимость толщины слоя x

(t) и

выяснить влияние на нее управляемых технологических

параметров процесса (напряженность поля, относительная

влажность, фотонное излучение). Связь между x

(t) и

технологическими параметрами можно установить через потоки

, J

и J

, которые в стационарных условиях должны быть

равными:

321

JJJJ



(2.22)

Диффузионный поток J

определяет подвод молекул

окислителя из объема газовой фазы к поверхности растущего