Методы формирования структур элементов наноэлектроники и наносистемной техники - 52 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

вызывает локальный разогрев области под зондом. Так как

температура локальной области при напряжении на зонде 10 В и

расстоянии z – 1 нм (рис. 2.6) много выше температуры испарения

воды, то можно сделать вывод, что в реакции окисления участвуют

ионы кислорода O

2–

и группы OH

–

, поставляемые в зону реакции

из газовой фазы атмосферы внутри технологической камеры.

2.4. Модель локального анодного окисления металла

Процесс роста оксида идет в три стадии [74]:

1) транспорт молекул окислителя из объема газовой фазы к

поверхности природного оксида металла, характеризуемый

потоком J

;

2) транспорт растворенных в оксиде молекул окислителя

через слой природного оксида металла к границе MeO

-Me,

характеризуемый потоком J

;

3) химическая реакция окисления металла, протекающая на

границе MeO

-Me и характеризуемая потоком J

Модель процесса ЛАО металла показана на рис. 2.7.