Методы формирования структур элементов наноэлектроники и наносистемной техники - 56 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ЮФУ | Ростов-на-Дону

Составители: 

Рубрика: 

56
энергии электрона E
e
=2,5 эВ вероятность захвата
1
= 3,2×10
-4
.
При других энергиях
ee
EE
5,2 значение
1
меньше [76].
Химический поток J
3
пропорционален концентрации
1
c
молекул окислителя на границе MeO
x
–Me, так что для реакции
(2.3) можно записать
113
ckJ ,
(2.30)
где k
1
– константа скорости реакции окисления металла.
В стационарном режиме справедливо равенство (2.22),
которое с учетом (2.28–2.30) принимает вид
1111
0
0
)()( ckEc
kT
q
Dcc
x
D
cc
sss
,
(2.31)
где
– подвижность ионов O
2-
.
Перепишем выражение (2.31) в следующий вид:
1110
)()( ckccccc
sss
,
(2.32)
где
0
/ xD
, E
kT
q
D
1
. Из (2.32) можно получить
)(
)(
1
1
k
c
,
(2.33)
)()(
)(
11
1
0
kk
k
cc
s
.
(2.34)
Подставив равенство (2.34) в (2.33), получим
)()(
)(
11
01
kk
cc
.
(2.35)
Используя равенство (2.30), получим

Страницы