ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
57
)()(
)(
1
1
01
k
k
ckJ
.
(2.36)
Так как
00
dxNJdt ,
(2.37)
то можно записать выражение для скорости роста оксида
)()(
)(
1
1
0
010
k
k
N
ck
dt
dx
,
(2.38)
где
0
N – удельная плотность атомов в оксиде (число атомов
необходимое для образования единицы объема оксида).
Подставив вместо
и
их значения, получим
Ex
kT
q
k
D
xk
Ex
kT
q
N
k
c
dt
dx
01
101
01
0
1
0
0
11
1
.
(2.39)
Проинтегрировав выражение (2.39), получим выражение
0101
0
0
1
0
1ln1)( xE
kT
q
xE
kT
q
c
N
Dk
xt
.
(2.40)
По полученным формулам (2.39) и (2.40) были произведены
расчеты и построены зависимости скорости роста от высоты
ОНС (рис. 2.8) и высоты ОНС от времени проведения ЛАО (рис.
2.9) при различной влажности воздуха.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 55
- 56
- 57
- 58
- 59
- …
- следующая ›
- последняя »
