Методы формирования структур элементов наноэлектроники и наносистемной техники - 59 стр.

UptoLike

59
4 – экспериментальные результаты при 70 %;
5 – экспериментальные результаты из [7]
Контрольные вопросы
1. Опишите основные механизмы локального анодного
кисления металлов.
2. Какая химическая реакция является наиболее вероятной
при проведении локального анодного окисления металла?
Запишите ее.
3. При участии каких активных частиц происходит рост
оксидных наноразмерных структур?
4. Какой параметр определяет локальность зондовой
нанолитографии?
5. От чего зависят геометрические параметры
формируемых оксидных наноразмерных структур?
6. Какие зависимости позволяет получить изученная
модель?