ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
60
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
В учебном пособии представлен анализ основных
методов нанолитографии, который позволяет определить
проблемы, связанные с увеличением разрешающей способности
формирования наноструктур. Показано, что наиболее
перспективным для формирования элементов наноэлектроники
является метод локального анодного окисления с помощью
атомно-силового микроскопа, недостатком которого остается
относительно низкая однородность и воспроизводимость
геометрических параметров формируемых оксидных
наноразмерных структур. Представлен анализ структур
наноэлектроники (элементы металлической наноэлектроники,
одноэлектронный транзистор и мезоскопические структуры),
сформированных методом ЛАО, который показал, что в
качестве анодируемого материала широко используются тонкие
пленки металлов, напыленные на подложки Si/SiO
2
, а также
гетероструктуры на основе GaAs/AlGaAs, содержащие слой
двумерного электронного газа.
Представлены результаты анализа механизмов локального
анодного окисления металла. Рассмотрена математическая
модель, с помощью которой можно рассчитать условия и
режимы процессов формирования наноструктур методом ЛАО
на основе тонких пленок металлов.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 58
- 59
- 60
- 61
- 62
- …
- следующая ›
- последняя »
